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连续式磁控溅射镀膜设备
发布日期:07-11-17
 

该系列生产线主要用于在平板玻璃、压克力、PCPET、等表面镀高质量、多功能金属膜、电磁屏蔽膜、反应膜、复合膜、透明导电膜、抗反射(AR)、增反射膜、LOW-E等膜层。本公司可按用户要求提供设计,提供全套设备,负责工艺,按交“钥匙”工程服务。

设备特点:

设备采用真空磁控溅射技术,孪生阴极,中频溅射技术,并配先进的控制系统。

生产过程全部自动,连续进行。被镀工件加热温度最高达350℃以,温度分区控制可调。

真空室体材料采用SUS304,真空室内

真空室之间采用独立门阀隔开,我们设计的是插板阀,可以有效隔断,稳定工艺气体。目前国内只有我们公司具有这项技术设计生产插板阀,它比目前国内通用的翻板阀密封效果更好,更耐用。

传动采用磁导向,保障传动的稳定性。整条生产线的各段速度采用变频调速电机驱动,运行速度可调节。

电气控制系统:触膜屏与PLC自动控制,人机对话方式来实现系统的数据显示、操作与控制。

主要技术参数:

a.极限真空:7×10-4pa

b.平均生产周期:80/

c.基片架尺寸:850×1500mm)(可以根据要求定做)

d.膜层均匀性:±2%

e.膜层稳定性:达到国际标准

 
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