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LSA-88雷士全自动硅片超声波清洗机


LSA-88雷士全自动硅片超声波清洗机

价 格:4.00

产 地:无锡

厂 家:无锡雷士超声波设备有限公司

浏览量:3041

成交量:0

发布日期:2011/7/22 11:18:48


详细信息

 硅片超声波清洗机优点
(1) 硅片经过磨片工序后,一直使硅片处于去离子水中浸泡状态,这样在经过清洗机清洗后表面洁净,在化抛后尤为明显, 化抛后硅片表面相当光泽干净,使其合格率大大提高;若由于工艺需要测试硅片厚度或电阻率,使其脱离水后,在重新清洗后的硅片化抛时, 表面大多数会出现暗花及不明显的污染痕迹,直观表面较差。
  (2) 清洗次数对清洗效果有很大影响,清洗次数多的硅片比清洗次数少的硅片表面光洁,这就要求在以后的探索中如何控制清洗液的时效性,如清洗四英寸硅片达500片时,需及时更换清洗液。
  (3)适当加入有机碱,利用碱的腐蚀性,络合硅片表面的金属离子,以加快清洗的速度,提高清洗的效率。   硅片的清洗在半导体制作过程中十分重要,而磨片的清洗是所有清洗工序中最困难的。由于使用了清洗机,通过物理渗透作用,使污染颗粒脱离硅片表面,再通过超声波清洗的机械作用和化学腐蚀作用,最终去除污染颗粒,达到了清洗硅片的目的。
 
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